高纯度气体管道气密性试验案例

在气体管道施工中，由于多种施工因素，管道连接处可能出现肉眼难以察觉的小孔，这在使用过程中可能导致泄漏问题。在微电子领域，如半导体和电子集成电路生产中，气体管道输送的超高纯度电子气体泄漏可能严重影响生产安全，因此泄漏检测至关重要。 泄漏检测法是检测高纯度气体管道泄漏的有效手段。其工作原理...