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在气体管道施工中，由于多种施工因素，管道连接处可能出现肉眼难以察觉的小孔，这在使用过程中可能导致泄漏问题。在微电子领域，如半导体和电子集成电路生产中，气体管道输送的超高纯度电子气体泄漏可能严重影响生产安全，因此泄漏检测至关重要。
泄漏检测法是检测高纯度气体管道泄漏的有效手段。其工作原理是在管道内部形成真空，然后在外部喷射氦气。氦气若通过泄漏点进入管道内部，测试仪将检测到氦气的存在，表明管道存在泄漏。由于氦气分子极小，能够渗透微小开口，该方法特别适用于检测微小泄漏。
具体检测步骤如下：
1.确保系统内所有阀门和压力调节阀完全打开。
2.确认系统压力为零，若系统处于正压，需先排空气体。
3.缓慢开启泄漏试验机入口，开始抽真空，直至达到可测试状态。
4.记录试验机背景氦泄漏率，只有当该值低于1×10^-9mbar.l/s时，才可进行下一步。
5.从最近的焊缝或连接点开始，用喷枪喷射氦气，让其在该点停留一段时间，然后移至下一点，直至检查完毕。
6.若检测到检测仪指示器升高，等待其稳定后，再次检查以确认泄漏。若非焊缝或连接点泄漏，逆向检查前一点直至找到泄漏源。
7.检查所有连接点后，继续观察检测仪数约10分钟，确认系统与检测仪分离前无异常。
8.若所有连接点的氦泄漏率均低于1x10^-9mbar.l/s，则系统泄漏率合格。测试人员应将测试结果记录在测试报告中。
在高纯度气体管道测试过程中，必须确保测试环境清洁稳定，避免外部因素干扰测试结果。此外，定期校准和维护检测仪对于保证测试的准确性和稳定性至关重要。
