气密性检漏仪中的真空泵

    气密性检测仪真空泵主要功能是产生足够的真空度，以便检测泄漏现象，油润滑旋片真空泵是其中最常用的类型之一，其工作原理基于机械抽吸与注气，一起来了解下吧。

油润滑旋片真空泵原理

    这种泵通过旋转带有凹槽的圆柱形转子来实现工作介质的移动，转子内部嵌有金属或石墨制成的叶片。随着转子的旋转，腔体体积逐渐增大，气体通过吸孔窗口进入这些腔体。随后，气体被压缩，并通过出口排出，从而实现抽气过程。

    涡旋真空泵

    除了油润滑旋片真空泵，涡旋真空泵也是一种可行的选择。它们同样基于气体压缩原理，但采用涡旋转子形成可变体积的腔室。这些泵通常体积更小、效率更高，并且能够提供更高的真空度，使其在需要高精度测量的应用中极具吸引力。

    真空法

    通过真空抽气系统在测试对象内部产生真空，同时从外部供应测试气体。检漏仪与真空系统并联运行。当发生泄漏时，气体会进入测试产品的空腔，并被检漏仪检测到。泄漏程度应根据记录的测试气体流速来确定。

测试气体施加方法

    从测试产品外部施加测试气体的方法主要有两种：

    1.密封外壳法：将测试品放置在充满测试气体的密封外壳或腔室中。此方法能够确定通过对象的泄漏速率。

    2.吹扫法：适用于查找泄漏点，使用来自钢瓶的加压气枪局部注入测试气体。

如何选择真空泵

    油润滑旋片真空泵与涡旋真空泵之间的选择取决于多个因素，包括：

    检漏仪的尺寸、所需的真空度、泵的速度、安全要求

泄漏检测程序

    为了检测真空系统中的泄漏，必须监测受控区域中氦分子浓度的增加。首先，样品量必须充分减压，以确保检漏仪（真空法）的正常运行。如果样品量较大，则使用最大压力为1mbar的独立预真空泵产生真空。对于小样品量，可以使用内置的检漏仪抽真空系统直接抽空系统，以在检漏室中产生最小压力。

    在系统和分析室中达到所需的压力后，便可开始泄漏检测程序。如果系统中存在氦分子，当它们进入检漏仪时，将被调谐到氦原子量的质谱仪检测到。此信息立即传输到连接到检漏仪的控制器，控制器随后输出记录的泄漏值。最后，必须识别并消除被测系统中的故障，确保其达到预期的密封性能。