在挑选一款新的检测仪时,需要考虑实际成本,气密性检测仪影响成本的关键是精度和压力范围,高精度通常会带来更高的成本,选择检测仪时要考虑的因素有哪些,我们一起来看看吧。
检测仪选择
在深入探讨主要选项之前,让我们先了解仪表的类型,检测仪主要分为两大类:直接式检测仪和间接式检测仪。
直接式检测仪
直接检测仪提供与气体类型无关的真空系统压力(因此也被称为不依赖气体的检测仪),它们仅在10^-4mbar以上的压力下有效工作。这是因为它们依赖于系统中具有物理效应的分子,而在较低压力下,这些分子的数量不足以产生可测量的效果。它们包括:
压电陶瓷:精确测量真空和超压,低至1mbar左右,此时精度会发生变化。
机械刻度盘:提供压力的视觉指示,在需要本地显示的应用中非常有用。
电容:具有高精度,能够测量从大气压到10^-4mbar的压力。
间接式检测仪
间接检测仪通常依赖于两种方法:热传递或电离,这两者都取决于气体类型。这些仪表分为三种主要类型:
皮拉尼(热式检测仪):用于粗真空到中等真空,通常作为精度不太重要的压电/电容式检测仪的廉价替代品。
冷阴极(电离检测仪):用于中高真空,用于指示压力。
热阴极(电离检测仪):用于中高真空,比冷阴极精度更高,范围更广。缺点是功率更高,并且容易受到振动/冲击空气冲击的影响。
市场上看到的大多数仪表都是有源的,带有电子元件进行信号处理,以提供简单的0-10V或其他板载输出。然而,在有大量辐射的环境中,这根本不行,因为电子设备会损坏。在这些情况下,您可以获得将电子元件移动到控制器中的仪表版本,该控制器可以放置在远离辐射区域的位置。
真空度和精度
真空度可能是最关键的考虑因素,它会影响其他每个因素,典型的分类和范围包括:
粗真空:从大气压以上到1mbar、中真空:1mbar至10^-3mbar、高真空度:10^-3mbar至10^-9mbar、超高真空:10^-9mbar至10^-12mbar
需要不同的检测仪技术来实现不同的真空压力范围,根据目标真空度,可能需要混合使用检测仪才能在整个泵送范围内进行测量。
粗真空/中真空检测仪:有多种选择,包括直接检测仪和间接检测仪,因此了解过程要求对于选择正确的检测仪至关重要。
高真空和超高检测仪:选择略少,该区域以热阴极或冷阴极型检测仪为主,两者都是间接检测仪。
一般来说,在粗真空至中真空下工作的检测仪比在中真空至超高真空下工作的检测仪具有更高的精度,直接仪表也比间接仪表更准确。直接式压力表的精度通常在0.2%到2%之间,其精度会随着压力的下降而降低。间接量规通常在10%到30%之间变化,具体取决于产品类型,但在其范围内具有一致的精度。
工艺或应用对仪表的影响
过程影响仪表的方式在选择中起着重要作用,需要仔细评估应用对所选量具技术的影响。
电容式检测仪通过电气测量由真空度波动引起的隔膜上的小挠度来提供高精度,高精度会带来更高的成本,以及更集中的测量范围。
在粗真空/中真空中尤其如此,电容检测仪比压电检测仪贵得多。通常两种压力表类型可以一起使用或集成为一种,以便在更宽的压力范围内进行测量,从而导致集成压力表的成本更高。为选择正确的检测仪需要了解您的真空度和数据需求。