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在工业生产中，阀门的应用数量庞大，阀门系统的设计、操作方式以及具体规格各有优势，确保每种应用都配备了恰当的阀门装置满足工厂需求，此外，在真空设备的构建和运行中，阀门的流导和漏率等参数至关重要。
阀门的构造
阀门的构造必须确保不会降低抽速，在粗真空和中真空区域，当阀门完全开启时，其流导应与相应管路组件的流导相匹配。例如，角阀的流导应等同于具有相同标称孔径和角度的弯管，同样，用于高真空和超高真空区域的分子流阀的流导应非常高，以避免显著的节流现象。
为了满足严格的防漏气要求，高质量真空阀的设计确保了附着在阀轴表面的气体分子在工作过程中不会从外部大气转移到真空中。这类阀门通常配备金属波纹管，用于将阀轴与大气隔离，或者完全封装阀轴，即在大气和真空之间仅存在静态密封，漏率均低于10^-9mbar·l/s。
油封阀
油或润滑脂密封的阀门可用于要求严苛的应用，这些阀门的漏气率也约为10^-9mbar·l/s。然而，摆动式插板阀是一个特例，其密封件上覆盖着润滑脂，真空和外部大气之间的漏气率实际上与波纹管密封的阀门相同。当阀门运行时，轴只进行旋转运动，因此不会有气体分子进入真空。
根据压力选择阀门
当工作压力最低为10^-7mbar时，使用具有标准设计的阀门就足以满足要求，因为其密封件和外壳材料可保证渗透率和释气不会对实际过程产生显著影响。如果需要低至10^-9mbar的压力，则通常要烘热至392°F(200°C)，这就需要采用耐热的密封材料以及机械强度很高的材料，而且（内）表面要制备妥当并保证较低的释气率，此类阀门通常采用不锈钢制成，法兰连接用铝垫圈密封，避免了弹性体密封件存在的渗透问题。
在超高真空范围内，这些问题尤为重要，因此必须主要使用一些金属密封件，当压力低于10^-9mbar时，附着在材料表面上的气体分子会产生非常大的影响，只能在合理的时间内同时脱气才能将其泵出。在超高真空系统中，脱气温度要高达932°F(500°C)，这对密封材料以及整个密封几何结构提出了特殊要求，必须使用由金或铜制成的垫圈。
根据真空应用选择阀门
不同应用需要搭配不同驱动的阀门，也就是手动阀、电动气动或电磁阀，以及电机驱动的阀门，例如可变漏率阀。各种外壳设计则进一步增加了阀门的多样性。除了使用的各种材料外，还有角阀和直通阀之分。根据标称宽度和预期应用，安装在阀门上的法兰可分为小型(KF)、卡箍型(ISO-K)、螺栓固定型(ISO-F)或超高真空型(CF)几种。
除了仅执行隔离功能（完全打开-完全关闭位置）的真空阀外，有些特殊功能还要使用一些专用阀。典型的是可变排气阀，其涵盖的排气范围介于10^-10cm3/s(NTP)至1.6·10^3cm3/s(NTP)之间。这些阀门通常由电机驱动，适合远程控制，当连接到压力表时，可以设置和保持过程压力。
还有些专门阀门具有安全功能，例如在断电时快速地自动切断扩散泵或真空系统，一旦发生断电，它们会将真空系统与抽气系统之间切断，并对真空系统进行破空。仅在恢复供电并达到一定的最小压力（约200mbar）后，才会重新启动真空系统。
