气密性检测仪通过氦气捕捉产品外壳细微缺陷,在检漏领域的应用,堪称最为灵敏的方法,下面让我们一起来了解下这一精密仪器的设计核心组件及其独特特性。
气密性检测仪设计
氦气检漏仪由众多组件组合:泵送系统、真空系统、质谱分析仪、控制系统,现代检漏仪的泵送系统由两大核心组件构成:前级泵与高真空涡轮分子泵。前级泵负责初步抽吸,使系统达到初步的真空状态,而高真空涡轮分子泵则进一步将真空系统提升至质谱分析仪所需的高真空状态。
检漏仪的性能与设计类型各异,容量越高,其产生工作所需真空的速度越快。选择何种类型,需依据检漏仪的预期运行条件而定。对于一般工业应用,两级旋片泵因其性价比高而广受欢迎。然而,在对大气纯度要求极高的行业,如半导体制造,干燥或无油泵则成为首选,尽管其成本高昂。
紧凑型泵送系统(容量高达2m³/h)可内置于检漏仪主体内,而更大容量的则需安装在特制的运输架上。通常,同一型号的检漏仪配备单一类型的泵送系统,原因是检漏仪内部空间有限,无法容纳多种选择。
真空系统
真空系统是检漏仪的内部空间,泵送系统在此创造并维持真空状态。该系统由一系列管道、真空阀及传感器构成,泵送系统亦是其组成部分之一。产生并维持质谱分析仪内部的高真空状态,并确保氦气从检漏仪入口顺利进入。
根据设计类型,真空系统可分为整体式和复合式。整体式真空系统如同一块带有孔洞的整体金属块,真空传感器、阀门及泵送系统元件均集成其中。优点在于密封性高,体积紧凑,但缺点是维护性差,内部清洁困难。
复合真空系统则由多个元件通过焊接和快速释放夹连接而成,设计简单,易于维护,在组装时需特别注意密封性。氦气检漏仪多采用复合真空系统设计,原因在于其客户多为大型制造商,车间生产的检漏仪真空系统常需拆卸和清洁。复合设计使得客户人员能够独立进行清洁、维护,并在必要时更换故障部件。
检漏仪中的电放大器位于真空中,这种设计使得放大器不易受到漏电流干扰,从而保证了检测的准确性。检漏仪控制系统负责协调所有系统的运行,并提升用户体验。其用户界面设计简洁直观,操作灵活多样,提供自动和手动两种操作模式。在自动模式下,用户可通过触摸屏进行操作,即使戴着防护手套也毫不影响。在手动模式下,用户则可使用薄膜键盘,控制真空系统阀门的运行等。