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定期进行泄漏检测对于确保真空系统的性能至关重要，尤其是在生产环境中使用的设备，它们随着时间的推移几乎不可避免地会降低真空度，而泄漏是造成这种性能下降的常见原因。
泄漏现象并非总是显而易见的。在某些情况下，尽管真空测量的读数仍在正常范围内，但轻微的泄漏仍可能导致不需要的气体（如氧气）进入，这可能对特定工艺（如某些电镀工艺）产生严重影响。因此，无论真空系统的压力是否明显降低，定期进行泄漏检测都是必要的。
区分实漏和虚漏
在泄漏测试过程中，区分实漏和虚漏是至关重要的。实漏指的是真正的气体泄漏，而虚漏则是由真空室内表面的污染造成的，真空室释放出缓慢释放的死区气体或气体。实漏可以通过气密性检测仪检测到，而气体释放现象可以通过清洁真空腔内的表面来解决。防止虚漏应在设计和制造阶段避免容易导致虚漏的结构或工艺。
评估真空系统是否存在实漏的方法包括泄压曲线分析和增压测试。通过将当前泄压曲线与历史数据进行比较，分析泄压曲线可以快速识别问题的原因。增压试验，也称为保压试验，通过测量泵关闭后腔的增压率，以及腔与泵之间的阀处于真空状态，可以判断是否存在泄漏或气体释放现象。
区分外部泄漏和内部泄漏
外部泄漏通常指从外部泄漏到真空腔内部，而内部泄漏是发生在真空腔之间的泄漏，应隔离。检测内部泄漏的能力通常需要通过段压保持方法进行预测，然后拆卸可疑部分进行泄漏检查。动态泄漏是真空系统中移动部件在移动时可能发生的泄漏现象，通常需要模拟移动状态以检测泄漏测试。
真空系统的泄漏检查是保证系统正常运行的一个重要方面，需要采用多种方法进行综合评估，并采取适当的预防和纠正措施。在进行泄压曲线分析时，必须确保一致的测试条件，以便轻松比较不同时间的数据。
